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特集　高信頼性化技術

セラミック材料，デバイスの開発・量産の最前線において，最先端の初期特性を得ることより，むしろ信頼性確保や保証が最大課題となる場面が多いのではないでしょうか．その解決に相当の時間とリソースを投入し，苦労が絶えない研究者，技術者が沢山いるのではないでしょうか．そこで，その一助として，今回，主に電子セラミック材料・デバイスを取り上げ，材料の劣化機構，構造設計などによる高信頼性化技術および信頼性評価（加速）等に関する技術を広く特集してみました．　（特集担当委員：古賀英一）

■ マイクロカンチレバー曲げ試験によるセラミックスのメソ領域力学特性評価

多々見純一

集束イオンビーム法で加工したマイクロカンチレバー試験片を用いた曲げ試験により各種セラミックスのメソ領域力学特性を実測した。

■ 波長掃引型光コヒーレンストモグラフィーによるセラミックス内部構造の非破壊評価技術

高橋　拓実・多々見純一

著者らは波長掃引型光コヒーレンストモグラフィーを基盤技術とした非破壊内部構造評価システムを開発している．本稿では，SS-OCTの特徴とAl₂O₃を対象にした既報の成果を含む評価事例と，樹脂，金属，セラミックスからなる複合材料の積層セラミックコンデンサの内部構造観察事例について紹介する．

■ 積層セラミックコンデンサにおける絶縁劣化箇所の特定と可視化

井澤　一欽・佐田　貴生・藤川　信儀・松原　聖・安川　勝正

Ni-BaTiO₃系積層セラミックコンデンサ(MLCC)の絶縁劣化メカニズムは以前から産業，学術両面において高い関心を集めている．本稿では，MLCCの局所絶縁劣化箇所の特定と抵抗分布の可視化について紹介する．

■ 空間電荷発展モデルに基づくMLCCの寿命予測

森田浩一郎・志村　哲生

MLCCの寿命予測では経験則に基づいた寿命予測式が使われている。これは実用性が高い手法である一方，物理的な背景を欠く。本稿では劣化機構を踏まえた寿命予測について解説し，修正された寿命予測式について紹介する。

■ CASE社会に求められる自動車向け積層セラミックコンデンサの高信頼性技術

大國　聡巳・廣瀬日出夫

CASE社会において、搭載数が増加している電子機器及び電子部品においても，高機能化しつつ，これまでと同等以上の高信頼性が求められている．CASE社会に求められる自動車向け積層セラミックコンデンサの高信頼性技術を紹介する．

■ 還元焼成ZnO積層バリスタの高ESD耐量化

東　佳子・古賀　英一

ZnO積層バリスタは、様々な過電圧から電子機器を保護する部品である．新規のSrCoO₃添加系ZnOを用い、世界初のCu内部電極の積層バリスタを実現した．その開発過程で、焼成プロセスの精密制御による強ESD耐性化を見出した．本稿では、その強耐性化の機構を微細構造やV-I特性と共に考察する．

■ 車載電子製品の実装技術と信頼性向上のポイント

神谷　有弘

自動車の電子化を進めてきた最初の製品群は、エンジン制御関係の電子製品で、これにセラミック基板が使われてきました。その特徴である小型化と高い信頼性から、製品搭載環境の厳しい製品に使われる事例と、製品の信頼性確保は、搭載環境を把握した評価試験の設定が重要なことを紹介します。

■ 積層セラミックコンデンサの衝撃強度評価

木下　貴博・川上　崇・村上　雄哉・堀川　教世・ゲネック　ベンジャミン

積層セラミックコンデンサを対象とした衝撃3点曲げ試験の応力シミュレーションモデルを構築し，解法の違いやモデルの2次元化に伴って生じる応力シミュレーション結果の差異について検討を加えた．

■ 放射光X線ナノCTによる電子デバイスの信頼性解析─MLCCの電極構造形成プロセス─

大熊　学・斎藤　直哉・水野高太郎・若井　史博

電極厚みがサブミクロンレベルのMLCCの電極形態を放射光X線ナノCTで観察した.電極層厚さの減少につれ，粒子の初期充填構造の不均質さが際立つようになる. 電極構造の不連続部の形成は，電極構造の不均質さに対応する特性長さの粗大化と関連していることを見出した.

■ セラミック材料・デバイスの信頼性評価

佐藤晃太郎

電子デバイスはセラミック材料以外にも複数の材料から構成され，用途や使用環境により弱点となる箇所が存在する。本稿では高信頼性化を目指すために着目するべきポイントについて，市場での対策事例と共に紹介する．

■ 電子部品の信頼性を支えるセラミックス材料の現場検査化への取り組み

谷口　咲子

現在のような予測困難な不確実性の時代にあっても、製造現場では製品の信頼性を検査技術の維持・継続・向上で支え、今までと同じように製品の信頼性の向上に取り組まなければならない。本稿では当社の品質に関する考え方と、現場視点に立った検査技術の確立について紹介する。